Nínú iṣẹ́ ṣíṣe wafer semiconductor, ìlànà lithography jẹ́ ìgbésẹ̀ pàtàkì, tí ó ń darí ní ìbámu pẹ̀lú ìlànà tí ó ń pinnu ìyọrísí chip. Gẹ́gẹ́ bí “orí ìfarahàn àti àwòrán” nínú iṣẹ́ ṣíṣe wafer, lithography ní gbogbo iṣẹ́ náà—pẹ̀lú ìbòrí spin, ìfarahàn, ìdàgbàsókè, ìfọ́, àti ìwẹ̀nùmọ́ omi—ó sì ń gbé àwọn ìbéèrè líle koko kalẹ̀ lórí ìmọ́tótó àyíká, ìṣàkóso àìmọ́, ààbò electrostatic, àti ìdènà kẹ́míkà. Àwọn èròjà eruku micron-level, ìṣíkiri ion trace, àti àwọn ìtújáde electrostatic transient gbogbo lè fa àbùkù photoresist, àìtọ́ àwòrán, ìfàsẹ́yìn wafer, àti àwọn circuits micro-short nínú àwọn circuits, èyí tí ó ń yọrí sí pípa gbogbo wafers run tí ó sì ń yọrí sí àdánù iṣẹ́jade ńlá. Ọ̀pọ̀lọpọ̀ FABs ń tiraka láti mú ìyọrísí àwọn ilana photolithography wọn sunwọ̀n síi. Kódà nígbà tí àwọn ohun èlò, àwọn ilana, àti àwọn pàrámítà àyíká bá wà ní ìtòlẹ́sẹẹsẹ, ìdènà sábà máa ń wà nínú àwọn ohun èlò ààbò ọwọ́ tí ó dàbí pé kò ṣe pàtàkì. Àwọn ibọ̀wọ́ yàrá ìwẹ̀nùmọ́ Class 1,000 tàbí àwọn ibọ̀wọ́ yàrá ìwẹ̀nùmọ́ onípele ilé-iṣẹ́ kò báramu pátápátá fún àwọn ìlànà gíga gíga ti ilana photolithography.
Kílódé tí a fi kà á sí lílo àwọn ibọ̀wọ́ yàrá ìwẹ̀nùmọ́ lásán ní ìlànà Lithography?
Àpòkù lulú máa ń fa ìbàjẹ́ fọ́tòresist
Àwọn ion sulfur àti chloride tó pọ̀ jù máa ń ba àwọn àyíká tó wà lórí àwọn wafer jẹ́
Iná mànàmáná tí kò dúró ṣinṣin ti di èyí tí kò ṣeé ṣàkóso, èyí sì fa ìbàjẹ́ nínú ìfọ́tò ìrísí fọ́tòlítígrà tí kò ṣe kedere
Fífọ́ àti ìfọ́, èyí tó ń yọrí sí àbùkù nínú iṣẹ́ ṣíṣe àwọn nǹkan àjèjì
Awọn ibọwọ Nitrile LjieClean Class 100 Laisi Powder
Suzhou Leader ń dojúkọ ẹ̀ka iṣẹ́ ṣíṣe wafer semiconductor àti láti yanjú àwọn ìṣòro tó wà nínú iṣẹ́ lithography, a ti ṣe àgbékalẹ̀ àwọn ibọ̀wọ́ nitrile Class 100 pàtàkì tí kò ní lulú, tí kò ní gass púpọ̀ tí ó bá àwọn ohun tí a nílò nínú iṣẹ́ lithography wafer mu, èyí tí ó sọ wọ́n di ohun tí a fẹ́ràn jùlọ fún ọ̀pọ̀lọpọ̀ ilé iṣẹ́ tí wọ́n ń ṣe àkójọpọ̀ wafer àti àwọn ilé iṣẹ́ tí wọ́n ń ṣe àyẹ̀wò rẹ̀.
1.Ilana ti ko ni lulú ti a da lori Dichloride: ko si idoti lulú ninu ilana Photolithography
Nípa lílo ìlànà ìwẹ̀nùmọ́ chlorine pàtó kan tí a fi semiconductor ṣe, ọ̀nà yìí kò nílò àfikún àwọn afikún ìrànlọ́wọ́ bíi talc, cornstarch, tàbí epo silikoni jálẹ̀ gbogbo iṣẹ́ náà. Ó ń rí i dájú pé a lò ó dáadáa ní gbogbo iṣẹ́ náà, ó ń mú àwọn èròjà lulú àti àwọn ohun tí ó ṣẹ́kù epo silikoni tí ó ń ba photoresist jẹ́ ní orísun náà kúrò, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń yanjú àwọn àbùkù èròjà àjèjì nínú iṣẹ́ photolithography pátápátá.
2 Ìwẹ̀nù omi ultrapure onípele pupọ n ṣe àṣeyọrí sulfur kekere, chlorine kekere, ati akoonu ion kekere
Nípasẹ̀ ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìgbà tí a fi omi mímọ́ tó ga, a máa yọ àwọn afikún ohun èlò àti àwọn ìdọ̀tí ojú ilẹ̀ kúrò. A máa ń ṣàkóso àkóónú sulfur, chlorine, àti àwọn ion irin tí ó lè yọ́, èyí tí yóò mú kí NVR kéré (àìyípadà tí kò ṣeé yí padà). Èyí yóò dènà ìfàsẹ́yìn wafer, ìbàjẹ́ tí a fi bo, àti àwọn àbùkù ìfọ́, èyí tí yóò mú kí àwọn ìbọ̀wọ́ bá àwọn ìlànà lithography tí ó ń béèrè fún àwọn wafer 8 àti 12-inch mu.
Ààbò ESD mẹ́ta tí a ti yípadà nínú Mọ́ldì láti dáàbò bo àwọn Wafers onímọ̀lára Electrostatic-Sensitive
Láìdàbí àwọn ibọ̀wọ́ anti-static tí ó wà ní ọjà pẹ̀lú àwọn ìbòrí ìfọ́mọ́ ìgbà díẹ̀, Gonars lo ìmọ̀-ẹ̀rọ àtúnṣe anti-static in-mold lórí ohun èlò ipilẹ nitrile. Èyí ń rí i dájú pé ó dúró ṣinṣin àti pé ó dọ́gba pẹ̀lú ojú ilẹ̀, ó ń tú iná mànàmáná onígbà díẹ̀ jáde ní gbogbo ìlànà náà láti dènà ìdàpọ̀ àìdúró tí ó lè fa ìbàjẹ́ photoresist àti ìbàjẹ́ sí àwọn ìyípo wafer tí ó péye. Ó dára fún àwọn ìgbésẹ̀ lithography core bíi ìfarahàn àti ìdàgbàsókè.
4Rọrùn àti Yíyẹ, Ó dára fún Àwọn Iṣẹ́ Àṣekára Micron-Level
Ohun èlò ìbọ̀wọ́ náà rọrùn, ó sì bá àwọn ìrísí ọwọ́ mu. Pẹ̀lú àwòrán tí kò ní ìyọ́ lórí ìka ọwọ́, ó fúyẹ́, kò sì ní agbára púpọ̀, èyí tí ó mú kí ó dára fún iṣẹ́ ṣíṣe kedere bíi mímú fọ́tòlithography wafer, ṣíṣe àtúnṣe ẹ̀rọ, àti ṣíṣe àyẹ̀wò pípéye. Ó ń fúnni ní ìṣíkiri láìní ìdíwọ́, ó sì ń dènà yíyọ́, ó ń dín ìbàjẹ́ tí àwọn ìkọlù tí kò ṣẹlẹ̀ nígbà iṣẹ́ ọwọ́ ń fà kù. Ní àfikún, ó ń dènà àwọn ohun èlò photolithography àti àwọn èròjà díẹ̀ àti alkalis, ó sì ń pẹ́ títí láìsí gbó tàbí yíya pàápàá nígbà lílò gígùn.
5
✅ Àpò ìfọṣọ onípele méjì tí a fi ìfọṣọ dí mú kí ìbàjẹ́ kejì kúrò
A máa ń kó àwọn ọjà tí a ti parí sínú yàrá ìwẹ̀nùmọ́ Class 100 nípa lílo àpò ìwẹ̀nùmọ́ onípele méjì, èyí tí ó máa ń ya wọ́n sọ́tọ̀ kúrò nínú eruku àti ọrinrin nígbà tí a bá ń kó wọn pamọ́ àti nígbà tí a bá ń gbé wọn lọ sí ibi ìpamọ́ àti nígbà tí a bá ń gbé wọn lọ. Kò sí ìbàjẹ́ mìíràn nígbà tí a bá ṣí àpò náà, èyí tí ó jẹ́ kí a lè lò wọ́n lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀ ní yàrá ìwẹ̀nùmọ́ Class 100.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Keje-23-2026