Àwọn ibọ̀wọ́ Lijiejing 9-inch Low Chloroprene: Ìlànà Tuntun nínú Ààbò Mímọ́ fún Ṣíṣe Semiconductor

Lójú àwọn ohun tí a nílò “aláìpé” tó le koko jù nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor, àwọn ibọ̀wọ́ nitrile Lijie tó ní ìwọ̀n 9 inch tí kò ní chlorine ti di ohun èlò ààbò tó ṣe pàtàkì nínú iṣẹ́ ṣíṣe wafer àti ìpele ìdìpọ̀ chip nítorí pé wọ́n ní ìwọ̀n ion tó kéré àti iṣẹ́ mímọ́ tó ga. Nípasẹ̀ iṣẹ́ àkànṣe, a ń ṣàkóso ìwọ̀n chlorine inú ibọ̀wọ́ náà ní ìwọ̀n ≤50ppm—tó ju ìwọ̀n ilé iṣẹ́ lọ ní ìwọ̀n 100ppm. Èyí ń dènà ewu ìbàjẹ́ tí ìṣíkiri ion chloride ń fà lórí àwọn ilẹ̀ wafer, ó sì ń bá àwọn ohun tí a béèrè fún nínú iṣẹ́ semiconductor mu fún ìṣàkóso ìbàjẹ́ microscopic.

Nígbà tí a bá ń ṣe iṣẹ́ lithography, ìwẹ̀nùmọ́ ibọ̀wọ́ ní ipa lórí ìpéye ìbòrí photoresist àti àwọn àbájáde ìfarahàn. A ṣe é ní yàrá ìwẹ̀nùmọ́ Class 100,000, a sì fi léésà yọ eruku kúrò, ọjà yìí ń fi ìtújáde patiku ojú ilẹ̀ hàn ní ìsàlẹ̀ 0.2 patikulu/square inch—tí ó bá àwọn ìlànà yàrá ìwẹ̀nùmọ́ ISO Class 3 mu. Èyí ń dènà ìdènà micro-patikulu mọ́ àwọn ojú ilẹ̀ wafer, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń dín àbùkù lithography kù. Apẹrẹ gígùn 9-inch náà ń fúnni ní ìbòjú pípé láti ọwọ́ ọwọ́ dé ọwọ́. Pẹ̀lú ètò elastic cuff, ó ń rí i dájú pé ó rọrùn láti ṣiṣẹ́ nígbàtí ó ń dènà ìtújáde eruku ní ṣíṣí ọwọ́, ó sì ń bá àwọn ohun tí ó pọndandan mu fún àyíká mímọ́ tónítóní nínú àwọn ìlànà lithography.

Nígbà tí a bá ń lo àwọn ohun èlò ìbàjẹ́ tó lágbára bíi ìfọ́ àti ìfọ́ ion, àwọn ibọ̀wọ́ wọ̀nyí fi agbára ìdènà kẹ́míkà tó tayọ hàn. Lẹ́yìn ìdánwò ìfọ́mọ́ra wákàtí mẹ́rìnlélógún nínú àwọn ohun èlò ìfọ́mọ́ra semiconductor tó wọ́pọ̀ bíi hydrofluoric acid àti phosphoric acid, wọn kò ní wíwú tàbí fífọ́, pẹ̀lú ìwọ̀n ìyípadà ìwọ̀n tó kéré sí 0.8%. Èyí ń pèsè ààbò ọwọ́ tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún àwọn olùṣiṣẹ́ nígbàtí wọ́n ń yọ àwọn ewu ìbàjẹ́ reagent kúrò láti inú ìbàjẹ́ ibọ̀wọ́. Àwọn ìka ọwọ́ náà ní àwọn ohun èlò ìdènà ìyọ́kúrò 0.02mm tí a fi lésà gbẹ́, èyí tó ń mú kí ìfọ́mọ́ra pọ̀ sí i ní 35% nígbà tí a bá ń lo àwọn wafer 12-inch, ó sì ń dín ewu ìyọ́kúrò wafer kù ní 60%. Èyí ń ṣe àṣeyọrí ìwọ́ntúnwọ́nsí láàárín ààbò ààbò àti ìdúróṣinṣin iṣẹ́.

Lọ́wọ́lọ́wọ́, a ti fọwọ́ sí àwọn ìlànà SEMI F57, àwọn ibọ̀wọ́ wọ̀nyí ni a gbé kalẹ̀ ní àwọn ìlà ìṣẹ̀dá púpọ̀ ní àwọn ilé iṣẹ́ tó gbajúmọ̀ bíi SMIC àti Hua Hong Semiconductor. Wọ́n dín ìwọ̀n ìfọ́ wafer tí ọwọ́ bá fà kù sí 38%, èyí sì fi ara wọn hàn gẹ́gẹ́ bí àṣàyàn tó dára jùlọ nínú iṣẹ́ ṣíṣe semiconductor fún ìwọ́ntúnwọ́nsí ààbò yàrá mímọ́ pẹ̀lú ìṣiṣẹ́ tó dára.